四(二甲氨基)铪
产品类别:
催化剂及助剂/催化剂/其它工业催化剂英文名称:
TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV),CAS NO:
19782-68-4分 子 量:
354.793EC NO:
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中文名：四(二甲基氨基)铪(IV) 外文名：Tetrakis (dimethylamino) hafnium (IV) 化学式：Hf[N(CH3)2]4 分子量：354.796 CAS号：19782-68-4 熔点：26-29 °C 沸点：85 °C 闪点：109 °F 密度：1.098 g/mL at 25 °C 外观：白色至灰白色晶体 存储条件：无水无氧
| 品名: | 四(二甲氨基)铪 |
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| 用途: | 四(二甲基氨基)铪(IV)在薄膜沉积领域可作为CVD、ALD的主要原材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜，可以用于COMS和下一代DRAM的高k绝缘材料；应用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)；应用于铁电存储器件(FeRAM)、铁电场效应晶体管(FeFET)、铁电负电容晶体管(NC-FET)、铁电隧道结等新功能器件；替代二氧化硅，作为金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的栅极。 |
| 别名 | 四(二甲氨基)铪(IV);四(二甲氨基)铪; |